- 据中国科学院微电子研究所官网消息，近日，微电子研究所EDA中心陈睿研究员与先导中心李俊杰高级工程师、南方科技大学王中锐教授、维也纳工业大学Lado Filipovic教授合作，针对GAA内侧墙结构Si/SiGe叠层横向选择性刻蚀工艺面临的形貌缺陷和均匀性问题，通过提出全新的Ge原子解吸附和扩散的模拟算法，建立了基于蒙特卡洛方法的连续两步干法刻蚀工艺轮廓仿真模型，实现了针对Si/SiGe六叠层结构的横向选择性刻蚀工艺轮廓仿真，并完成了相应结构的流片实验。通过结合形貌仿真和透射电子显微镜（TEM）表征，探究了
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中科院 先进工艺 EDA
- 7月11日，紫光集团宣布正式更名为“新紫光集团”，并发布了四大创新技术方向，分别为多元异构高效融合的新型智算集群系统解决方案、高端车规级芯片、6G与低轨道卫星通信芯片、面向后摩尔时代的半导体技术新赛道。据悉，新紫光集团此前主要聚焦集成电路和数字科技等领域，涉及芯片设计、生产、封装、测试、设备等半导体产业链，以及ICT设备、云服务和数字化解决方案等领域，并将产业版图精细地划分为移动通讯、存储、汽车电子与智能芯片、材料与器件、信息通信基础设施、信创与云服务、高可靠芯片、金融及其他板块。随着新品牌的发布，新紫光
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新紫光 存储 先进工艺
- 最近几年，我国在国际半导体产业中的地位不断上升，尤其是在成熟工艺芯片领域。根据数据，中国的成熟工艺芯片产能已占全球份额的29%，在中国国崛起的同时，大洋彼岸的美国人坐不住了，今年年初，面对中国在28nm及成熟芯片的重要力量地位，美国众议院的两党领导人呼吁采取更强有力的行动，提出加征关税等措施，以遏制中国在该领域的主导地位。不光是进口，在出口方面，美国也一直在做手脚，在美国实施的芯片禁令中，大部分都是针对高端制程，从ASML的EUV光刻机到英伟达的A100芯片，清一色属于高端产品。而14nm，28nm等成熟
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美国 制程 先进工艺
- 前不久的Intel投资者会议上，英特尔发布了先进工艺的路线图，从去年的Intel 7工艺开始一路推进到Intel 18A工艺，酷睿处理器从12代一直持续到16代酷睿，甚至17代酷睿都在准备中了，2025年上市。 不仅工艺规划的很好，而且这一次Intel更有信心，因为多代工艺实际上提前量产了，具体如下：Intel
4工艺是Intel第一个
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先进工艺介绍
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