为什么说佳能是「明智」的光刻机出货商？

1995 年，当日本半导体行业竞争还很激烈时，尼康在光刻设备出货额中占有 48.9% 的份额，佳能占 28.7% 的份额，让日本总共获得了 77.6% 的份额。当时，尼康在光刻设备市场占有率第一，被誉为「器材之王」（图 1）。

图 1 按公司划分的光刻设备出货量和份额（截至 2023 年）来源：根据摩根士丹利证券数据创建

然而，1995 年市场份额为 15.9% 的荷兰 ASML 此后市场份额快速提升，于 2002 年超越尼康和佳能，2010 年市场份额超过 80%，2021 年市场份额达到 90%。2023 年，ASML 将以 94.2% 的市场份额占据主导地位，而尼康的市场份额将下降至 3.1%，佳能的市场份额将下降至 2.8%。

ASML 在 ArF 沉浸式设备的吞吐量和可用性方面压倒了日本竞争对手，自 2008 年以来，ArF 沉浸式设备已成为其主打产品。ASML 已成为尖端光刻设备 EUV 领域的主导公司。结果，日本在光刻设备领域的存在似乎消失了。

然而，如果我们计算光刻设备的「各类光刻设备的出货量份额」而不是「EUV 光刻设备出货量份额」，则会出现完全不同的情况。笔者想讨论下面的细节。

各公司光刻设备出货量及占比

图 2 显示了各公司出货的光刻设备数量。2011 年至 2014 年，ASML 出货量从 222 台减少至 136 台。此外，尼康的销量从 85 台减少到 34 台。另一方面，佳能的出货量变化不大，从 52 台变化到 54 台。

图 2 按公司划分的光刻设备出货量（截至 2023 年）来源：根据摩根士丹利证券数据创建

不过，从 2015 年到 2023 年，ASML 和佳能的出货量大幅增长。ASML 从 169 台增加到 449 台，佳能从 80 台增加到 187 台。另一方面，尼康的销量从 42 台增加到 45 台，并没有大幅增长。

接下来我们看一下全球光刻设备的出货量以及各公司的出货量占比（图 3）。

图 3 按公司划分的光刻设备出货量份额（截至 2023 年）来源：根据摩根士丹利证券数据创建

ASML 的出货量份额稳定在 65% 左右。另一方面，佳能的市场份额从 2011 年的 11.4% 逐渐上升，2015 年以来一直维持在 30% 以下。另一方面，尼康的市场份额逐渐下降，从 2011 年的 23.7%，下降到 2023 年的 6.6%。

这样一来，佳能在销量份额上根本无法与 ASML 匹敌，但在出货量上却拥有 ASML 近一半的份额。

那么，佳能大量出货的是哪些光刻设备呢？

各公司光刻设备出货量

图 4 显示了各公司各种光刻设备的出货量。只有 ASML 可以出货最先进的光刻设备 EUV，每台成本为 240 亿日元。

至于每台成本 98 亿日元的 ArF 沉浸式，ASML 有 125 台，尼康有 9 台，ASML 以压倒性优势领先尼康。在每台售价 31 亿日元的 ArF 干货市场，ASML 有 32 台，尼康有 10 台，所以尼康做得好一点。

图 4 按公司划分的各种光刻设备的价格和出货量（2023 年）来源：根据摩根士丹利证券数据创建

其中数量最多的 KrF 为 16 亿日元，ASML 有 184 台，尼康只有 2 台，佳能有 56 台。佳能在这里首次出现，佳能的 56 台机器占 ASML 184 台机器的 30%。此外，单价 7 亿日元的 i-line，ASML 出货量为 55 台，尼康出货量为 24 台，佳能出货量为 131 台，约为 ASML 的 2.4 倍。

注意，各种光刻设备的价格是参考 ASML 的财务报告计算的。当时换算成日元是 1 欧元=160 日元。

佳能专注于 KrF 和 i-line

这样看来，佳能的战略就清晰了。佳能的策略是专注于 KrF 和 i-line，而不触及 EUV 和 ArF 等先进技术。而且这个策略确实有效。

这是因为在制造半导体时，无论多么尖端，都不可能只使用 EUV；而是会使用 ArF 浸没式、ArF 干式、KrF 和 i-line。换句话说，无论未来半导体小型化进展如何，KrF 和 i-line 总会有生意的。而且，由于设备成熟，开发成本几乎可以忽略不计。因此，佳能对 KrF 和 i-line 的重视可以说是非常出色的。

另一方面，尼康的策略不如佳能那么明确。在 ArF 浸没和 ArF 干燥方面，尼康无法与 ASML 匹敌。凭借 KrF 和 i-line，无法击败佳能。换句话说，尼康似乎正在弥补 ASML 在尖端设备方面的不足，并在弥补佳能在成熟设备方面的不足。

正如开头提到的，尼康在 20 世纪 90 年代被誉为「器材之王」。然而，由于 ASML 和佳能，它现在得以生存。你能真正感受到事物的盛衰、无常。

展望未来，ASML 在尖端光刻设备方面已开始出货下一代 EUV 机器「High NA」。此外，下一代「Hyper NA」将于 2030 年左右开发。

如此看来，佳能似乎将业务重点放在 KrF 和 i-line 上，而 ASML 则投入巨额研发成本，推进尖端技术。我觉得佳能放弃尖端的策略很「聪明」。